5.規(guī)格參數(shù):
測量行程(mm)
X坐標:200 Y坐標:100
X、Y坐標測量分辨率:0.0002mm
X、Y坐標準確度:(1+L/100)μm,式中L為被測長度,單位為mm
方工作臺尺寸(mm):260×270
方工作臺承放工件*大高度(mm):140
角度傾斜范圍:±12°
角度傾斜分度值:30’
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物鏡放大率
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工作距離(mm)
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視場范圍(mm)
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1×
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82
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6.0×4.0
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3×
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70
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2.0×1.5
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5×
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49
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1.2×0.9
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屏幕圖像范圍(mm)
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屏幕圖像范圍(mm)
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1/2″≈5.2×4.1
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1/3″=4.1×3.1
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1/2″≈1.7×1.4
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1/3″=1.4×1.0
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1/2″≈1.0×0.8
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1/3″=0.8×0.6
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頂針架夾持*大直徑:φ100 mm
頂針架夾持*大長度:700mm
高頂針架夾持*大直徑:φ250 mm
高頂針架夾持*大長度: 200mm
角度測量范圍:0°~360°
角度測量分辨率:5″
角度測量準確度:30″
1/2″或1/3″黑白(或彩色)CCD
像素數(shù):795×596
*小探測孔徑: φ5mm
*大探測深度:15mm 測量力:0.1N
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測頭直徑的檢定極限誤差:0.0005mm
